3月に開催の2026年 第73回 応用物理学会春季学術講演会において、当研究室の尾上 潤さん（M1）が講演奨励賞を受賞しました。
（秋季大会にて、授賞式が執り行われました。）

• 尾上 潤, 小林 幹太朗, 榎木 陸人, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  15p-S4_203-12　Si表面上のナノ構造が水沸騰挙動に与える影響

尾上潤さんが、先頃札幌で開催された第60回（2026年春季）応用物理学会において、講演奨励賞を受賞しました。
本賞は、総講演件数のうち、1.5％以内の優れた講演に対して授与される賞です。
今回は、第73回応用物理学会　春期学術講演会にて「Si表面上のナノ構造が水沸騰挙動に与える影響」という題目で、Siナノ構造を用いることで沸騰伝熱特性が大きく向上することを見出し、これを電子デバイスの効率的冷却に用いることを提案する内容の発表を行い、この発表に対して評価いただき、受賞にいたりました。

尾上さん、受賞おめでとうございます！

工学研究科HP：https://www.eng.osaka-u.ac.jp/ja/topics/researchresult/30823/

精密工学会 関西地区定期学術講演会にて、当研究室の広本恒輝さん（M2）がベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました。

精密工学会 2026年度関西地区定期学術講演会（2025年6月19日 神戸大学 百年記念館）　　　

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞
ポスター番号：10 - C
講演題目:超高周波励起大気圧PECVD 法による リチウムイオン電池用厚膜Si 負極創成技術の開発－Si 厚膜の構造が電池性能に与える影響の評価－
発表者：広本 恒輝

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  会場入口にて撮影

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  ﾍﾞｽﾄﾎﾟｽﾀｰﾌﾟﾚｾﾞﾝﾃｰｼｮﾝ賞

広本さん、受賞おめでとうございます！

3月に開催の2026年度 精密工学会春季大会学術講演会において、当研究室の榎木 陸人さん（M２）がベストプレゼンテーション賞を受賞しました。

• 榎木 陸人, 小林 幹太朗, 尾上 潤, 樋口 瑠洸, 垣内 弘章, 大参 宏昌
  D82 高密度水素プラズマを用いたシランフリーな結晶シリコン膜の化学気相形成 −Si基板表面構造が成長挙動に与える影響−

本賞は、優れた講演発表を行った発表者に授与されるものです。今回は、「Si基板表面構造が成長挙動に与える影響」に関する研究発表を行い、その内容が評価され、受賞に至りました。
榎木さん、受賞おめでとうございます！

4/27精密工学会HPにて発表：https://2026-03spring.jspe.or.jp/wp/wp-content/uploads/pdf/26-03-BP.pdf
工学研究科HP：https://www.eng.osaka-u.ac.jp/ja/topics/researchresult/29564/

2026年度 精密工学会春季大会学術講演会にて、当研究室の市川 達也さんがポスター発表を行い、企業賞を受賞しました。

精密工学会 2026年度精密工学会春季大会学術講演会 学生研究発表会（2026年3月17日 埼玉大学）　　　

受賞名：日新イオン機器賞
ポスター番号：SP56
講演題目： 高密度水素プラズマ誘起化学輸送法によるダイヤモンド薄膜の形成 -固体原料を用いたボロンドーピングの検討-
発表者：市川 達也

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  受賞時の様子

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  日新イオン機器賞

本賞は、企業の視点から実用面ならびに学術面で優れていると評価されるポスター発表に対して授与されるものです。
今回は、取り扱いが容易な固体原料を利用したダイヤモンドへのドーピング法の提案と実証結果を評価いただきました。
市川さん、受賞おめでとうございます！

精密工学会HPにて4/6公開：https://2026-03spring.jspe.or.jp/student/
工学研究科HP：https://www.eng.osaka-u.ac.jp/ja/topics/researchresult/29256/

台湾で開催された、国際会議TACT 2025にて、当研究室の樋口瑠洸さん（Ｍ2）が口頭発表を行い、 Bronze Awardを受賞しました。

TACT2025 （2025/10/25－10/29　GIS TAIPEI TECH Convention Center　台北科技大学）

受賞名：Bronze Award
講演題目：Diamond synthesis from a solid carbon source by chemical transport using narrow gap microwave plasma
発表者：Rurii Higuchi （樋口 瑠洸）

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  TACT2025 受賞式の様子

Bronze Awardは、優秀な口頭発表を行った学生TOP10％に与えられる賞です。
樋口さん、国際学会での受賞おめでとうございます！
TACT2025掲載：https://tact2025.conf.tw/site/userdata/1617/file/Oral_Award_TACT2025.pdf
大阪大学 工学研究科HP掲載：https://www.eng.osaka-u.ac.jp/ja/topics/researchresult/27447/

9月に開催の精密工学会秋季学大会にて、当研究室の樋口瑠洸さん（M２）がアドバンスト・ベストプレゼンテーション賞、広本恒輝さん（M1）が、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました‼（10/30学会HPにて発表）
精密工学会HP：https://2025-09autumn.jspe.or.jp/wp/wp-content/uploads/pdf/25-09-BP.pdf

• 樋口 瑠洸，酒井 佑真，市川 達也，垣内 弘章，大参 宏昌
  ナノプレートダイヤモンドに対するポストアニールの効果
• 広本 恒輝, Afif Hamzens, Farrel Dzaudan Naufal, 榎本 光希, 大参 宏昌, 垣内 弘章
  超高周波励起大気圧プラズマを用いたPECVD法によるリチウムイオン電池用Si厚膜負極の開発
  

樋口さんは、2025年度春季大会／秋季大会の連続受賞となりました。
広本さんは、今大会にて企業賞・BP賞の2つの賞を受賞しました。

樋口さん、広本さん、受賞おめでとうございます！

2025年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、当研究室の広本 恒輝さん(M1)がポスター発表を行い、企業賞を受賞しました。

精密工学会 2025年度精密工学会秋季大会学術講演会 学生研究発表会（2025年9月17日 京都大学 吉田キャンパス）　　　

受賞名：JFEテクノリサーチ賞
ポスター番号：SP42
講演題目：超高周波励起大気圧プラズマを用いたPECVD法によるリチウムイオン電池用Si厚膜負極 の開発
発表者：広本 恒輝

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  受賞時の様子

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  JFEテクノリサーチ株式会社賞

広本さん、受賞おめでとうございます‼
精密工学会HP：https://2025-09autumn.jspe.or.jp/wp/wp-content/uploads/pdf/25-09-kigyosho.pdf

2025年3月に開催の、精密工学会春季大会にて、当研究室の織田 悠雅さん(M2) 樋口 瑠洸さん(M2) 小林 幹太朗さん(M1)がベストプレゼンテーション賞を受賞いたしました！（5/27学会HPにて発表）
精密工学会HP：2025年度ベストプレゼンテーション賞

• 織田 悠雅，辻本 駿葵，垣内 弘章，大参 宏昌
  B108 高密度プラズマによる炭素繊維プラスチックの非接触穴あけ加工
  −プラズマ生成条件が加工特性に及ぼす影響−
  
• 樋口 瑠洸，酒井 佑真，垣内 弘章，大参 宏昌
  F89 狭ギャップマイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜の形成
  −投入電力とプロセス圧力が膜特性に及ぼす影響−
  
• 小林 幹太朗，坂本 健，細谷 雪菜，垣内 弘章，大参 宏昌
  C105 水素プラズマにより創成されるナノテクスチャ化Si表面における液滴接触角の評価

3名の同時受賞となりました！
織田さん、樋口さん、小林さん、おめでとうございます‼

当研究室の望月 昇太さん（M2）安田 怜央さん（M1）が、2024年度 精密工学会秋季大会学術講演会にてベストプレゼンテーション賞を受賞しました‼

精密工学会 2024年度精密工学会秋季大会学術講演会（2024年9月4日~9月6日 岡山大学 津島キャンパス）　　　

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：F48
講演題目：リチウムイオン電池⽤Si負極の形成に向けた⼤気圧PECVD法の研究
発表者：望月 昇太

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精密工学会 2024年度精密工学会秋季大会学術講演会（2024年9月4日~9月6日 岡山大学 津島キャンパス）

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：E84
講演題目：⾼密度プラズマ誘起⾦属表⾯ナノ繊維構造を利⽤した⾦属樹脂間の異材接合
発表者：安田 怜央

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https://2024-09autumn.jspe.or.jp/wp/wp-content/uploads/pdf/24-09-BP.pdf

おめでとうございます‼

当研究室の安田 怜央（M1）さんが、2024年度 精密工学会秋季大会学術講演会 学生研究発表会にて企業賞を受賞しました。

精密工学会 2024年度精密工学会秋季大会学術講演会 学生研究発表会（2024年9月4日 岡山大学 津島キャンパス）　　　

受賞名：マツダ株式会社賞
ポスター番号：SP13
講演題目：高密度プラズマ誘起金属表面ナノ繊維構造を利用した金属樹脂間の異材接合
発表者：安田 怜央

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おめでとうございます‼

当研究室の酒井 佑真さん（M1）が、2023年度 精密工学会関西地方定期学術講演会にてベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました‼

精密工学会 2023年度関西地方定期学術講演会　（2023年6月23日 リーガロイヤルホテル京都）

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞
ポスター番号：P-14
講演題目：水素プラズマ化学輸送法によるナノプレート状ダイヤモンドの形成
発表者：酒井 佑真

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おめでとうございます‼

武田 聖矢さん（M2）が、 2022年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました。

精密工学会 2022年度精密工学会秋季大会学術講演会（2022年9月7日～9日，オンライン開催）　　　

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：C33
講演題目：大気圧プラズマを用いた2 段階プロセスによる透明基材用反射防止コーティング
著者：武田聖矢，山内怜大，大谷燎平，大参宏昌，垣内弘章

おめでとうございます‼

精密工学会HP→http://2022-09autumn.jspe.or.jp/wp/wp-content/uploads/pdf/22-09-BP.pdf

今春修了生の関戸拓郎さんが、2022年度 精密工学会春季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました。
→http://2022-03spring.jspe.or.jp/bp/

精密工学会 2022年度精密工学会春季大会学術講演会（2022年3月15日-17日 オンライン開催）　　　

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：A108
講演題目：低温高密度プラズマ処理による銀ナノファズ構造の形成
著者：関戸拓郎，中村航己，垣内弘章，大参宏昌

おめでとうございます‼

中塚 宏学君（M2）が、 2021年度 精密工学会春季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました。

精密工学会 2021年度精密工学会春季大会学術講演会（2021年3月16日～22日，オンライン開催）　　　

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：F0204
講演題目：固体ソース支援プラズマ化学気相成長法による高撥水フルオロカーボン膜の形成
著者：中塚宏学, 田中領, 垣内弘章, 安武潔, 大参宏昌

おめでとうございます‼

縄田慈人君が、 ICPE2020（The 18th International Conference on Precision Engineering）でYoung Researcher Award を受賞しました。

ICPE2020（The 18th International Conference on Precision Engineering）（2020年11月23日～27日，オンライン開催）

受賞名：Young Researcher Award
講演番号：F-1-5
講演題目： Study on the growth of silicon films at low temperatures in atmospheric-pressure plasma excited by very high-frequency power
著者：Shigeto Nawata, Masaya Maegawa, Hiromasa Ohmi, Hiroaki Kakiuchi, Kiyoshi Yasutake

おめでとうございます‼

縄田慈人君が 精密工学会2019年度 関西地方定期学術講演会にて、ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました。

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞

講演題目：大気圧プラズマCVDによるプラスチックフィルム上へのSi成膜と膜構造評価
ポスター番号：P – 30
著者：縄田慈人, 前川健史, 大参宏昌, 垣内弘章, 安武潔

おめでとうございます‼

小松直人君が 精密工学会2019年度 関西地方定期学術講演会にて、ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました。

精密工学会 2019年度関西地方定期学術講演会（2019年6月28日，大阪大学）

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞
ポスター番号：P-20
講演題目：マイクロ波水素プラズマ化学輸送法によるダイヤモンド合成における成膜雰囲気中不純物の影響
著者：小松直人, 大参宏昌, 垣内弘章, 安武潔

 

おめでとうございます‼

　田中智之君が2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました。

2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会（2017年9月20日-22日，大阪大学）

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞
ポスター番号：G24
講演題目：高濃度CF4ガスを用いた高圧プラズマCVDによるフルオロカーボン膜の形成
著者：田中智之，木倉丈，竹本啓輝，垣内弘章，安武潔，大参宏昌，阿部淳子，酒井伊都子，林久貴，福原成太

武居則久君が2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました。
　　

2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会（2017年9月20日-22日，大阪大学）

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：G28
講演題目：狭ギャップ水素プラズマを用いたオンサイト生成SiH4によるシリコンエピ成長
著者：武居則久，垣内弘章，安武潔，大参宏昌

 

木元雄一朗君が2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました。

2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会（2017年9月20日-22日，大阪大学）

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
講演番号：G08
講演題目：低温薄膜トランジスタに向けた大気圧プラズマCVDによるSi0Xゲート絶縁膜形成プロセスの研究
著者：木元雄一朗，寺脇功士，鎌田航平，山崎啓史，大参宏昌，垣内弘章，安武潔

大参先生が2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会にて、ベストオーガナイザー賞を受賞しました。

2017年度 精密工学会秋季大会学術講演会（2017年9月20日-22日，大阪大学）

受賞名：・ベストオーガナイザー賞
分類コード：B29
セッション名：プラズマ加工・材料プロセス
オーガナイザー：大参宏昌
受賞部門：OS新設部門

おめでとうございます‼

　武居則久君が第78回応用物理学会秋季学術講演会にて、講演奨励賞を受賞しました

2017年 第78回 応用物理学会秋季学術講演会（2017年9月5日-8日，福岡国際会議場）

受賞名：講演奨励賞
講演番号：6p-C21-3
講演題目：高密度水素プラズマによるオンサイト生成シランを用いたシリコンエピ成長とドーピング
著者：武居則久，垣内弘章，安武潔，大参宏昌

竹本啓輝君が台湾で開催された国際学会でPoster Award of Excellence (Symposium B)を受賞しました。

TACT 2015 International Thin Films Conference　National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan (Nov. 15-18, 2015)

受賞名：Poster awards of Excellence（Symposium B）
講演題目：Impact of catalytic metal element on silicon nanowire growth by high-pressure hydrogen plasma chemical transport
著者：H. Takemoto, Y. Ishikawa, H. Kakiuchi, K. Yasutake and H. Ohmi　

坂口尭之君が、2015年度 精密工学会春季大会学術講演会にて、ベストプレゼンテーション賞を受賞しました

2015年度 精密工学会春季大会学術講演会（2015年3月17日，東洋大学）

受賞名：ベストプレゼンテーション賞
ポスター番号：S - 03
講演題目：大気圧VHFプラズマによるSiの低温・高速成膜技術の開発－TFT特性に対する電極長さの影響－
著者：坂口尭之，林威成，田牧祥吾，山田高寛，大参宏昌，垣内弘章，安武潔

山田浩輔君が、精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会にて、ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました

精密工学会 2013年度関西地方定期学術講演会（2013年6月14日，大阪工業大学）

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞
ポスター番号：P - 35
講演題目：高圧マイクロ波水素プラズマによるシリコン高速エッチングにおける発光分光計測
著者：山田浩輔, 山田高寛, 大参宏昌, 垣内弘章, 安武潔

藤原裕平君が、精密工学会2013年度関西地方定期学術講演会にて、ベストポスタープレゼンテーション賞を受賞しました
　　　　

精密工学会 2013年度関西地方定期学術講演会（2013年6月14日，大阪工業大学）

受賞名：ベストポスタープレゼンテーション賞
ポスター番号：P－4
講演題目：薄型結晶Si太陽電池のための大気開放プラズマ酸化プロセスの開発
著者：藤原裕平, 金谷優樹, 山田高寛, 大参宏昌, 垣内弘章, 安武潔

研究室OBの舩木毅さんが第27回（2009年秋季）第70回応用物理学会学術講演会にて、応用物理学会講演奨励賞を受賞しました。

2009年秋季　第70回応用物理学会学術講演会（富山大学）

受賞名：応用物理学会講演奨励賞
講演番号：10p-N-4
講演題目：狭ギャップマイクロ波水素プラズマにより高速エッチングされたSi表面の評価
著者：舩木毅，中濱康治，棱野勝，安武　潔，大参宏昌

後藤晃君が、2009年応用物理学会春季大会にて、講演奨励賞を受賞しました。

鎌田君が、GCOE国際シンポジウムで、ベストポスター賞を受賞しました。

岸本君が、2007年応用物理学会秋季大会にて、講演奨励賞を受賞しました。

岩本君が、チェコで開催された国際ワークショップで、 Best poster award を受賞しました。

International Workshop for Students and Young Researchers 23-25 October 2007, Brno, Czech Republic

受賞名：Best poster award
発表題目：“Sterilization process of B. atrophyaeus using atmospheric pressure mist plasma”New Perspectives of Plasma Science and Technology