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私たちの研究室は、次世代半導体ウエハ、太陽電池やフレキシブルエレクトロニクス実現の鍵をにぎる高機能薄膜の成膜技術で世界に存在感を示しています。
成膜は、削ったり磨いたりする引き算のプロセスではなく、原子を精密に積み重ねていく足し算のプロセス。我々は物理と化学をベースに大気圧プラズマを理解・制御・駆使することで革新的な成膜技術を実現してきました。
この世界的にも稀なプラズマ反応場を利用して、環境デバイス用ダイヤモンドを木炭からエコクリーンに合成する技術やユピキタス素材から新機能ナノ材料を創成する材料プロセスの開発にも挑戦しています。
